晶圆激光加热退火系统

产品优势

1.控制精度高:可精准控制晶圆温度(高精度温度控制)。

2.热均匀性好:激光束均匀照射，避免热点和热应力。

3.环保安全:无需预热，减少能耗;无废气/污染物排放。

产品概述

利用高能量密度的激光束，精准照射晶圆表面，能在极短时间内实现对晶圆的快速加热与退火处理。通过精确调控激光参数，可实现对不同

材质、尺寸晶圆的高精度温度控制，有效改善晶圆内部微观结构，减少晶格缺陷，显著提升半导体器件的电学性能与稳定性。

产品特点

激光束直接照射晶圆表面，能量高度集中。

瞬时作用，实现极短时间内的快速加热。